英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀采用 DIN 面板式安裝結構，能夠安裝在半導體車間的電控機柜內(nèi)，契合潔凈廠房內(nèi)部設備的布局規(guī)范。英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀配置 Shaw 氧化鋁傳感器，具備多種量程規(guī)格，測量區(qū)間覆蓋?100℃至 + 20℃露點，可適配不同種類高純工藝氣體的測量條件。英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀搭載背光 LED 顯示屏幕，現(xiàn)場工作人員可以直接查看實時露點數(shù)值，儀器支持℃、℉、ppm (v) 等多種單位自由切換，方便不同崗位人員讀取氣體水分相關數(shù)據(jù)。

現(xiàn)場部署階段，英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀接入高純氣體管路的采樣點位，實現(xiàn)全天候不間斷采集管路當中工藝氣體的露點數(shù)據(jù)。英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀搭載兩路可編程報警繼電器，企業(yè)可對照產(chǎn)線工藝規(guī)范設定露點報警閾值。當氣源或者管路出現(xiàn)異常，氣體露點超過管控閾值時，英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀便會輸出報警信號，提醒運維人員排查氣源、管路密封以及過濾設備狀態(tài)，避免攜帶有水分的工藝氣體持續(xù)輸送至晶圓加工工位。

英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀提供隔離 4?20mA 模擬輸出接口，傳感器與主機之間的布設距離可以超過 1000 米，監(jiān)測信號能夠對接車間 PLC 控制系統(tǒng)，完成數(shù)據(jù)上傳與歷史留存，方便技術人員追溯氣路水分的波動情況。英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀擁有 AutoCal 自動校準能力，設備附帶可溯源的校準證書，便于產(chǎn)線執(zhí)行儀表周期校驗工作。傳感器與氣體接觸零部件選用 316 不銹鋼，配套燒結不銹鋼過濾器，阻隔管路內(nèi)細微顆粒，降低顆粒對傳感器造成的損耗，適配半導體高純氣路的工況。

依靠英國肖氏進口 SuperDew3 在線露點儀完成半導體工藝氣體管路的水分檢測，能夠及時發(fā)現(xiàn)氣路內(nèi)的水分異常，降低水汽對晶圓造成的污染，助力半導體產(chǎn)線維持工藝氣體的品質穩(wěn)定