美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 適配半導(dǎo)體行業(yè)高純氣路采樣條件，美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 可對接氮?dú)獯祾吖苈返念A(yù)留采樣口，完成管路內(nèi)氣體取樣分析。在半導(dǎo)體晶圓制造現(xiàn)場，氮?dú)鈺臍庠炊溯斔椭粮鱾€工藝機(jī)臺，整條管線不同位置的氣體狀態(tài)會存在區(qū)別，氣源出口合格，不代表機(jī)臺末端的氮?dú)馔瑯訚M足條件，管線長距離輸送過程中的滲漏，往往發(fā)生在管路中段或者靠近設(shè)備的末端點(diǎn)位。美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 支持在管線的多個節(jié)點(diǎn)開展取樣，工作人員可借助美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 依次檢測氣源端、管路中轉(zhuǎn)點(diǎn)位、機(jī)臺吹掃進(jìn)氣端，梳理整條氮?dú)獯祾吖苈返穆饵c(diǎn)分布情況，識別出管路中水分異常升高的位置。

半導(dǎo)體廠區(qū)內(nèi)的高純氣體管路系統(tǒng)復(fù)雜，部分檢測點(diǎn)位空間緊湊，美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 的采樣回路可以匹配現(xiàn)場氣路接口，能夠適應(yīng)晶圓車間潔凈廠房的使用環(huán)境。半導(dǎo)體車間當(dāng)中除水分以外，管路中還會伴隨少量雜質(zhì)氣體，這類組分不會直接干擾美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 的檢測過程，保障美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75 可以穩(wěn)定反饋管路氣體的濕度情況。現(xiàn)場運(yùn)維人員還可以使用美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM75，定期對車間已經(jīng)安裝的在線監(jiān)測設(shè)備做比對核驗(yàn)，及時發(fā)現(xiàn)在線設(shè)備出現(xiàn)的讀數(shù)漂移，避免依靠失準(zhǔn)的數(shù)據(jù)開展工藝調(diào)節(jié)。

氮?dú)獯祾吖苈返臐穸缺O(jiān)測屬于持續(xù)性工作，并非一次性檢測就可以完成管控。隨著設(shè)備長時間運(yùn)行，密封件老化、濾芯損耗都會慢慢帶來水分侵入問題。依靠美國 Edgetech 冷鏡露點(diǎn)儀 PDM5 開展周期性巡檢，企業(yè)能夠掌握高純氮?dú)獯祾吖苈烽L期的濕度變化趨勢，提前發(fā)現(xiàn)供氣系統(tǒng)的潛在隱患，及時開展管路維護(hù)與配件更換，減少水汽以及雜質(zhì)氣體對晶圓帶來的負(fù)面影響，維持半導(dǎo)體晶圓制造的生產(chǎn)穩(wěn)定性，降低因?yàn)闅怏w環(huán)境異常帶來的產(chǎn)品損耗，適配不同規(guī)模半導(dǎo)體產(chǎn)線的日常氣體檢測工作